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《洁净厂房设计规范》之空气洁净度等级

作者:admin 发布日期:2018/6/26 关注次数: 二维码分享

3.0.1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定:

1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表3.0.1 确定。

3.0.1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级


注:按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。

2 各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算:

式中:Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m³)。Cn是四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数;

N—空气洁净度等级,数字不超过9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量;

D—要求的粒径(μm);

0.1—常数,其量纲为μm

3 当工艺要求粒径不止一个时,相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍。

4 空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm~0.5μm,超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。

3.0.2 空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态,空气洁净度等级所处状态与业主协商确定。

3.0.3 空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行。

3.0.4 当洁净室(区)内的产品生产工艺要求控制微生物、化学污染物时,应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度限值。



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