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洁净室各项目检测方法

作者:admin 发布日期:2018/3/19 关注次数: 二维码分享

内蒙古实验室系统工程-过滤器检漏

一、说明

过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,复杂、耗时间的测量项目。泄漏测试的目的,是要确认:

1. 滤网的材料无破损,

2. 安装恰当。

滤网出厂前当然要经过泄漏测试,但是在搬运与安装过程难保完全无损,而且滤网的重要性又大于一切,因此安装完毕都要做一次扫描,以确认滤材无任何泄漏。另外,若是安装不恰当,微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是 FFU 系统,天花板上是负压,若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此,边框扫描一样重要。滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒,然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式,适用在不同的场合。

测试方式有:

1. 气胶光度计测试法  2. 微粒计数器测试法  3. 全效率测试法  4. 外气测试法    后两种现在使用非常少。

二、方法

气溶胶光度计测试法

气胶光度计测试法是最早期的测试方式,但是因为效果非常好,到今天仍旧沿用。气胶光度计( Aerosol Photometer )是微粒计数器的一种,也是使用雷射科技,但是它在扫描空气样本的微粒之后,所给的是微粒的总体强度,不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质,现改用PAO,加压或加热雾化之后,可以产生次微米等级的微粒,可用来模拟无尘室的微粒,因此被当成验证微粒。

微粒计数器测试法

半导体业方面,早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计,但是随着制造精密度增加,油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用,因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒,在上游施放,然后用微粒计数器在下游扫描,寻找泄漏,基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果,发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制,因此是目前最广为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化,导入滤网上游即可。



PAO/DOP过滤器检漏

一、说明

气胶光度计测试法是最早期的测试方式,但是因为效果非常好,到今天仍旧沿用。气胶光度计(Aerosol Photometer)是微粒计数器的一种,也是使用雷射科技,但是它在扫描空气样本的微粒之后,所给的是微粒的总体强度,不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质,加压或加热雾化之后,可以产生次微米等级的微粒,可用来仿真无尘室的微粒,因此被当成验证微粒。

泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一,由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值,因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠,美国食品与药品管制局(FDA)规定,在其管辖范围内(食品加工场所与医疗制药场所),所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症,因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似,使用上无多大差异。

二、测试仪器

本测试法使用仪器为气胶光度计(Aerosol Photometer)与微粒产生器(Aerosol Generator)。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种,每年必须校正一次。微粒产生器有两种,一种是普通的微粒产生器,只要求高压空气,另一种是加热型微粒产生器,要高压空气和电源,微粒产生器不需要校正。

三、测试方式

滤网泄漏测试的步骤,大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测。其步骤说明如下 :

在图面上记录滤网数量并编号。

确定空调系统正常运转并可供测试,风速与风量必需调整平衡完毕。

使用气胶产生器在上游施放挑战微粒,将PAO打入滤网上游,微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏,但是超过50微克以后差别不大,少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算,再用气胶光度计确认。

上游微粒浓度确认后,就可以在滤网表面扫描,寻找泄漏,必要时滤网四周可用塑料帘覆盖以确保测试之准确

在滤网表面扫描,扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测.

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